【摘 要】
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压电材料的技术进步使压电元件已成为一种新式的驱动元件,受到越来越多的关注。压电驱动器具有很高的位移分辨率以及抗干扰能力,并且控制方法简单,非常适用于微位移驱动,目前
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压电材料的技术进步使压电元件已成为一种新式的驱动元件,受到越来越多的关注。压电驱动器具有很高的位移分辨率以及抗干扰能力,并且控制方法简单,非常适用于微位移驱动,目前已被广泛地应用于国防、生物医学、光电子等诸多领域。该文介绍了压电驱动器、微型机电系统的概念,并对国内外微机械中压电驱动器的发展及应用近况进行了较详细、全面的介绍,同时对比了国内外在本领域的发展现状及差距。
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