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介绍了利用3696精缩机进行制版阵列插图的研究工作，总结了插图工艺制作的基本方法、常见问题及解决办法。通过具体应用实例，对多种形式的阵列插图制作进行了有益的探讨，对光掩模版的制造具有一定的指导意义。
精缩机制版阵列插图研究
【摘 要】
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介绍了利用3696精缩机进行制版阵列插图的研究工作，总结了插图工艺制作的基本方法、常见问题及解决办法。通过具体应用实例，对多种形式的阵列插图制作进行了有益的探讨，对光掩模
【机 构】
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中国电子科技集团公司第二十四研究所
【出 处】
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微电子学
【发表日期】
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2008年2期
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