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微波等离子体增强化学气相沉积(MW-PECVD)法产生的等离子体密度高,成膜质量好,是制备高效太阳能电池背面钝化膜的重要方法。基于自主研制的平板式PECVD设备,对其核心部分——线形同轴微波等离子体系统进行了仿真分析,获得了该系统等离子体源的空间分布规律,为设备设计的进一步优化提供技术指导。
线形同轴耦合微波等离子体系统仿真研究
【摘 要】
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微波等离子体增强化学气相沉积(MW-PECVD)法产生的等离子体密度高,成膜质量好,是制备高效太阳能电池背面钝化膜的重要方法。基于自主研制的平板式PECVD设备,对其核心部分——
【机 构】
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湖南红太阳光电科技有限公司
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2021年2期
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