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利用有限元方法计算了纵弯式压电微电机自然频率和固有振型。相应的实验表明，利用该分析所得结果与实测值有较好的一致性。
纵弯式压电微电机自然频率的有限元计算
【摘 要】
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利用有限元方法计算了纵弯式压电微电机自然频率和固有振型。相应的实验表明，利用该分析所得结果与实测值有较好的一致性。
【机 构】
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上海交通大学机械系,中国科学院长春光学精密机械研究所
【出 处】
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光学精密工程
【发表日期】
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1997年6期
【基金项目】
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863计划资助项目
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