【摘 要】
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采用超声喷雾热解工艺，在Si（100）衬底上制备了ZnO薄膜，研究了衬底温度、喷雾速率、银掺杂对ZnO薄膜发光性质的影响．结果表明，选择合适的沉积温度和喷雾速率能制备出具有良好结晶质
【机 构】
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中国科学技术大学材料科学与工程系,中国科学技术大学结构分析实验室
【基金项目】
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国家自然科学基金(50172045)资助
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采用超声喷雾热解工艺，在Si（100）衬底上制备了ZnO薄膜，研究了衬底温度、喷雾速率、银掺杂对ZnO薄膜发光性质的影响．结果表明，选择合适的沉积温度和喷雾速率能制备出具有良好结晶质量、强紫外发射、高紫外／可见发光强度比的ZnO薄膜．未掺杂样品中，在沉积温度为500℃、喷雾速率为0．15mL／min条件制备的ZnO薄膜的近带边紫外发光性能最好，其紫外／可见发光强度比能够达到470．低浓度的银掺杂可以进一步提高ZnO的紫外发光性能，掺杂3％浓度的Ag可以使ZnO的紫外／可见发光强度比达到700．但过高浓度的
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