【摘 要】
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日前,英诺（上海）工程塑料有限公司向微电子行业客户推出一款牌号为＂N-140＂的聚酰亚胺（PI）材料。该款材料耐等离子气体辐照,综合性能优良,可满足半导体制造工序中对原材料的苛刻要求
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日前,英诺（上海）工程塑料有限公司向微电子行业客户推出一款牌号为＂N-140＂的聚酰亚胺（PI）材料。该款材料耐等离子气体辐照,综合性能优良,可满足半导体制造工序中对原材料的苛刻要求。经过改良配方后的N-140牌号聚酰亚胺具有更好的耐等离子辐射及耐高温性能;在等离子气体腐蚀下更低的分解性,对晶圆造成的污染更小;其它性能如强度、绝缘性、耐磨性亦有不错的表现。
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