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将付里叶变换法运用于电子束曝光的邻近效应校正中,形成了快速、准确的剂量校正法。给出了描述预校正剂量和有效曝光剂量计算结果的三维图形。在电子束曝光胶图形的三维显影模拟工作中,首次使用了最精确的三维线踪模型。
电子束曝光的邻近效应校正及显影模拟
【摘 要】
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将付里叶变换法运用于电子束曝光的邻近效应校正中,形成了快速、准确的剂量校正法。给出了描述预校正剂量和有效曝光剂量计算结果的三维图形。在电子束曝光胶图形的三维显影
【机 构】
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山东工业大学电机工程系,山东工业大学电机工程系
【出 处】
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山东工业大学学报
【发表日期】
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1989年4期
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