【摘 要】
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采用一种薄膜制备的新方法-离子层气相反应法(ILGAR),以CdCl2为前驱体,H2S为硫源制备了CdS薄膜.利用XRD、SEM、AFM、XPS及UV-VIS透射光谱等测试分析方法对薄膜的晶型、表面化
【机 构】
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先进陶瓷与加工技术教育部重点实验室
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采用一种薄膜制备的新方法-离子层气相反应法(ILGAR),以CdCl2为前驱体,H2S为硫源制备了CdS薄膜.利用XRD、SEM、AFM、XPS及UV-VIS透射光谱等测试分析方法对薄膜的晶型、表面化学组成、表面形貌、膜厚增长速度及光学性能进行了研究.实验结果表明:ILGAR法制备的CdS薄膜表面较致密、均匀、附着性好;在0.05MCdCl2前驱体溶液浸渍处理,薄膜以～2.8nm/cycle的恒定速率增长,且薄膜晶体沿立方(111)面具有明显的择优取向生长;400℃热处理1h,发生立方→六方晶型转变,最终
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