等离子体增强化学蒸气沉积技术在软包装膜阻透层涂覆中的应用

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应用于食品和医药包装的透明高阻透性涂层已颇受关注,近来,利用反应蒸发和等离子体增强化学蒸气沉积(PECVD)技术在聚合物薄膜上沉积SiOx和AIOx等金属氧化物透明阻透层的研究活动很多,美国BO涂覆技术公司的低频,低温PECVD技术,已从一研究开发的涂覆机阶段,成功地进展为三套有生产规模的涂覆装置,其QLF透明阻透涂覆层目前进入商品化。
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