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AlN薄膜压电微机械超声换能器的设计与优化网络首发

来源 :西安电子科技大学学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：bennkyoumusi

【作 者】

：

娄利飞  赵建新  梁雅楠  赵明阳  安再芳 

【出 处】

：

西安电子科技大学学报

【发表日期】

：

2019年11期

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