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太赫兹波透射测量技术能够很好地应用于无损检测领域,然而样品在进行透射测量时存在着F-P 效应,太赫兹波源功率的波动与频率的漂移都会极大地影响测量结果的精度.文中设计了一种具有参考样品的双路透射测量系统,并模拟比较了传统单路透射测量系统与文中设计的双路透射测量系统两者的测量误差,最后对如何选择参考样品进行了分析.结果证明该测量系统可以有效地克服太赫兹波源功率的波动与频率的漂移,大大提高了测量的精度.