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本文介绍以硅为衬底的微细加工技术的发展前景与展望.随着特征尺寸的不断缩小,微细加工技术的水平逐渐提高.当特征尺寸进入到微米、亚微米量级时,需要克服"极限"束缚,增加器件的集成度.
微细加工技术发展前景与展望
【摘 要】
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本文介绍以硅为衬底的微细加工技术的发展前景与展望.随着特征尺寸的不断缩小,微细加工技术的水平逐渐提高.当特征尺寸进入到微米、亚微米量级时,需要克服"极限"束缚,增加器
【机 构】
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东北微电子研究所,美迪特科技有限公司
【出 处】
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微处理机
【发表日期】
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2004年3期
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