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欧瑞康（Oerlikon）是一家全球领先的高科技集团，为以下领域提供先进的解决方案，如薄膜太阳能电池、纺织机械、晶圆薄膜涂层、传动系统、精密和真空系统。欧瑞康系统晶圆工艺事业部为物理沉积和刻蚀提供创新的产品解决方案。这些方案为前沿芯片、和元器件在个人电脑、
欧瑞康系统事业部
【摘 要】
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欧瑞康（Oerlikon）是一家全球领先的高科技集团，为以下领域提供先进的解决方案，如薄膜太阳能电池、纺织机械、晶圆薄膜涂层、传动系统、精密和真空系统。欧瑞康系统晶圆工艺事业部
【出 处】
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电子工业专用设备
【发表日期】
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2008年3期
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