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采用聚焦离子束溅射蚀刻加工了微米尺寸304不锈钢悬臂梁试样.利用静态及动态弯曲加载研究了微米尺寸材料的形变 与疲劳开裂行为.结果表明:随薄膜厚度的减小,材料的屈服强度升高,塑性下降.屈服强度随悬壁梁厚度的变化关系与Hall-Petch 晶粒强化关系相似.微小悬壁梁屈服强度的升高来源于小尺度材料在非均匀变形下引起的应变梯度贡献的增加;而塑性下降则归因 于较薄薄膜的晶粒内较少的可动位错.疲劳裂纹从尖缺口处萌生的门槛值接近块体材料.