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用Ａｕｇｅｒ电子能谱研究铂薄膜中氧和碳杂质的行为。结果表明，氧和碳受它们在铂膜中扩散过程限制。在１０００℃上、下两个温区，氧具有不同的扩散激活能，分别等于０．９８和０．４４ｅｖ；５５０－１０００℃温度范围内，氧向膜外扩散，使铂膜净化；１０００－１２００℃温度范围内，氧向膜内扩散，使铂膜氧化。在所研究的整个温度范围内，碳的扩散激活能等于０．５２ｅＶ，其扩散行为和氧相同，且随着氧含量的增减而增减。