用激光斑纹对比法测量金属表面粗糙度

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本文叙述用远场斑纹对比技术测量精磨、研磨和抛光后的金属平面粗糙度的方法。激光斑纹对比技术的基础是在激光对比度和受照表面的粗糙度之间存在着近似的线性关系。研究表明,使用氦氖激光时线性关系可保持至粗糙度Ra(平均高度)0.1μm,在此之后便出现饱和效应。文中还提到旨在扩大测量范围而改变照射光入射角的研究情况,并发现使用大入射角可使表面粗糙度的测量范围增加至0.4μm Ra。
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