【摘 要】
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BPS(Balzers Process Systems)公司的新型300mm组合工具(Cluster tool),带有一个300mm溅射舱。
New 300mm Cluster Tool from BPS (Balzers Process Systems) with a 300mm
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BPS(Balzers Process Systems)公司的新型300mm组合工具(Cluster tool),带有一个300mm溅射舱。
New 300mm Cluster Tool from BPS (Balzers Process Systems) with a 300mm sputtering chamber.
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