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本文提出了一个新的基于扩散界面的相场模型来描述外延生长中岛的形核、生长及熟化过程。该模型同时考虑了弹性场、表面能、沉积、扩散、解吸和能量势垒等热力学及动力学过程对表面纳米形貌的影响。采用经典的BCF模型来描述生长中的扩散形核过程，而采用一个新的包含弹性应变能的自由能函数，通过变分得到一个描述多层岛生长的相场方程，该方法可以有效地描述外延生长中复杂的外延形貌。采用有限差分格式对非线性耦合方程组进行求解。数值结果显示，该模型可以真实地再现外延生长中多层岛结构（即山丘状形貌）的演化过程，模拟结果与已有实验结果一