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本文主要阐述了闭环微硅加速度计的工作原理和动态模型,并与开环系统相比较,其一些静态和动态特性得到改善,同时,另外一些变差特性可以通过电调节方式进行改善.
一种力平衡式隧道加速度传感器的特性研究
【摘 要】
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本文主要阐述了闭环微硅加速度计的工作原理和动态模型,并与开环系统相比较,其一些静态和动态特性得到改善,同时,另外一些变差特性可以通过电调节方式进行改善.
【机 构】
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东南大学微电子中心
【出 处】
：
电子器件
【发表日期】
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2001年4期
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