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采用Sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Ba（Zr0.2Ti0.8）O3（BZT）薄膜。X射线衍射分析表明,该BZT薄膜为钙钛矿结构而无其他物相存在。光学显微镜分析结果表明,退火温度为900℃时,BZT薄膜表面光滑平整,无裂纹产生。
退火温度对BZT薄膜微结构的影响研究
【摘 要】
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采用Sol-gel法在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上制备了Ba（Zr0.2Ti0.8）O3（BZT）薄膜。X射线衍射分析表明,该BZT薄膜为钙钛矿结构而无其他物相存在。光学显微镜分析结果表明,退火温度为900℃时
【机 构】
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重庆科技学院
【出 处】
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重庆科技学院学报：自然科学版
【发表日期】
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2011年1期
【基金项目】
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重庆科技学院大学生科技创新项目
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