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目的研究相结构对十八烷基三氯硅烷（OTS）分子膜纳米机械性能的影响。方法分别在冰水混合物温度和室温下制备了OTs分子膜的样品，利用原子力显微镜表征表面形貌，通过施加不同的探针作用力观察相对高度差变化。结果随着针尖作用力的增加，冰水混合物温度下制备的OTS分子膜的相对高度差一直维持在2．02mm左右；在室温下制备的OTS分子膜，针尖作用力在800pN以下时，高度值维持在1．73m左右；针尖作用力增加到800pN时，其相对高度差开始下降；当作用力增加到4nN时，其相对高度差维持在1．44nm左右。结论有序致密