【摘 要】
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Anodic bonding of Kovar-glass and Kovar/Al film-glass were performed at temperatures of 513(¨)K to 663(¨)K under the static electric voltage of 500(¨)V, in o
【机 构】
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Department of Materials Engineering
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Anodic bonding of Kovar-glass and Kovar/Al film-glass were performed at temperatures of 513(¨)K to 663(¨)K under the static electric voltage of 500(¨)V, in order to compare the interfacial phenomena in electric-field assisted anodic bonding of Kovar-glass and Al-glass . SEM and EPMA were used to observe and analyzed the interfacial region. The growth rate of the alkali ions depletion layers in Kovar/Al-glass joint was slower than that in Kovar-glass joint. But the activation energies for the growth of depletion layers are about the same for both kinds of joint.
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