一种物理气相沉积涂层装置

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科学技术的发展已允许人们在物件表面上覆盖一至数层另一些材料的薄层,从而显著改善它们的性能以满足各种使用要求.物理气相沉积(PVD)涂层是有效方法之一.例如,切削刀具无论是高速钢的还是硬质合金的,经过TiN,Ti(NC),Al2O3等超硬涂层处理后,其表面硬度分别由原来 6GPa和 17GPa The development of science and technology has allowed people to cover one or several layers of other materials on the surface of the object, thereby significantly improving their performance to meet various application requirements.Physical vapor deposition (PVD) coating is one of the effective methods, such as , Cutting tools, whether high-speed steel or cemented carbide, after TiN, Ti (NC), Al2O3 and other superhard coatings, the surface hardness of the original 6GPa and 17GPa
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