【摘 要】
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表面织构化作为太阳电池生产工艺的起始工序，对于转换效率的影响至关重要。在HF-HNO3-H2O腐蚀溶液体系下，通过调整腐蚀时间制备了三种典型的多晶硅织构化表面，并利用扫描电子显
【机 构】
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长沙理工大学化学学院,湖南神州光电能源有限公司技术研发部
【基金项目】
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国家科学自然基金（20976016）,长沙市科技局重点攻关项目（K1001020-11）
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表面织构化作为太阳电池生产工艺的起始工序，对于转换效率的影响至关重要。在HF-HNO3-H2O腐蚀溶液体系下，通过调整腐蚀时间制备了三种典型的多晶硅织构化表面，并利用扫描电子显微镜（SEM）和光电转换效率测试仪（IPCE）对其表面形貌和反射率特性进行表征分析。结果表明：低反射率的织构化表面并未获得更高的转换效率，而在HF-HNO3-H2O腐蚀溶液体系下，腐蚀100s制备得到的“蠕虫状”的腐蚀坑分布均匀，反射率约为26％；且可以很好匹配太阳电池生产工艺中的后续工序．制备得到的太阳电池效率为16．68％，坛和
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