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提出了基于图像处理的半导体光刻技术自动调焦的方法，利用图象处理算法实现半导体光刻技术的自动调焦。实验结果表明，这种方法可以实现高精度（200nm）和良好的重复性（400nm）的调焦。
基于半导体光刻技术的自动调焦
【摘 要】
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提出了基于图像处理的半导体光刻技术自动调焦的方法，利用图象处理算法实现半导体光刻技术的自动调焦。实验结果表明，这种方法可以实现高精度（200nm）和良好的重复性（400nm）的调焦。
【机 构】
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合肥工业大学仪器科学与光电工程学院
【出 处】
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现代显示
【发表日期】
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2008年5期
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