论文部分内容阅读
薄膜制作技术在混合集成电路中扮演十分重要的角色。附着力的强弱是影响薄膜电路质量最关键的因素。通过实验 ,查明了膜系结构、金属相间扩散、溅射金属化气氛、清洗等方面导致薄膜起层的原因 ,并选择出最佳工艺条件。
改进工艺提高薄膜附着力
【摘 要】
：
薄膜制作技术在混合集成电路中扮演十分重要的角色。附着力的强弱是影响薄膜电路质量最关键的因素。通过实验 ,查明了膜系结构、金属相间扩散、溅射金属化气氛、清洗等方面导
【机 构】
：
西南电子设备研究所!四川成都610036,西南电子设备研究所!四川成都610036,西南电子设备研究所!四川成都610036
【出 处】
：
电子元件与材料
【发表日期】
：
2000年01期
其他文献
办公室在综合管理以及统筹协调中起着一个非常重要的作用。办公室担负着传递信息、进行对外交往以及后勤服务等工作。为了能够协调机关中各个部门以及在连接领导与基层之间的
二程礼学思想继承儒家以礼治国的政治理念,主张将礼的原则精神和制度规范运用到政治领域,实现礼在改造现实社会秩序时的政治功用。同时,二程既注重礼治教化,又高度重视刑罚法
目的观察和法通淋汤对寒热错杂型复发性泌尿系感染的临床疗效。方法将216例寒热错杂型复发性泌尿系感染患者随机分为治疗组和对照组,每组108例。治疗组以和法通淋汤进行辨证
<正> 吴庄墓群位于河南省夏邑县桑堌乡吴庄村东侧,西北距桑堌乡政府约1华里(图一)。墓群南北长105、东西宽70米。此处原为高出地表约6米的土丘,当地群众很早即不断在此取土,
综述了近年来PTC机理研究的进展。着重讨论以下几点:Heywang 及Jonker模型;单个晶界电性测定;用阻抗分析区分晶界及晶粒电阻;应力与PTC效应;晶界结构与PTC效应;晶界第二相、
我国在迈向现代化的改革实践道路上,一直是自上而下的政府主导的渐进型社会变革,改革在一定程度上是创造特例的实践活动,在改革的制度设计中就隐含了“改革合法性”的问题。
<正>信贷工厂和微小宝组合是浦发银行在小微领域金融服务的一大创新,彻底改变了商业银行小微企业金融服务的策略和模式近年来,小微企业融资难问题已经引起各级政府高度重视。