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研究了飞秒激光辐照对GaAs/Ge 太阳能电池的损伤效应，利用光学显微镜和非接触光学轮廓仪表征电池表面损伤形貌，并用伏安特性测试系统表征电池辐照前后的光伏特性。分析了不同激光能量密度下，激光烧蚀对电池表面形貌及电学性能产生的损伤程度。实验结果表明，激光能量密度小于0.53 J/cm2时，仅损伤到减反射膜；随激光能量密度的增加，电池损伤深度不断增加，当能量密度为0.78 J/cm2 时，已损伤到电池发射区；电池性能参数如短路电流、开路电压、最大功率和填充因子随激光能量密度的增加而衰减，衰减幅度先增加后减小；在所有测试参数中，光电转化率的退化最为明显。飞秒激光辐照对太阳能电池具有破坏性的影响，这直接影响到电池的光伏特性。