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采用多弧离子镀工艺研究了以Inconel 625为阴极靶材制备多元合金镀层的规律。用化学分析、金相、SEM,TEM,X射线衍射以及电化学极化等方法,发现了镀层成分与原靶材成分基本相似,以凝滴堆垛为特征的镀层形貌,初始非晶膜的形成和沿(111)面择优加厚生长以及合金耐蚀性在镀层中基本复现等规律。研究了镀层孔隙率、单源沉积速率以及粗大颗粒分布等问题。观察到了阴极斑点孔洞内部结构细节,获得了新的结果。