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研究用溶胶－凝胶方法制备ＰＭＮＴ（铌镁酸铅）薄膜的工艺过程．通过ＸＲＤ和ＳＰＭ系统地分析了热处理条件（热解温度和退火条件）与ＰＭＮＴ薄膜的形态．结晶和取向的对应关系，已建立起制备高度取向 ＰＭＮＴ薄膜的工艺．并成功地在Ｐｔ／Ｔｉ／ＳＩＯ２／Ｓｉ衬底上制备成（１１１）取向的ＰＭＮＴ薄膜．
溶胶-凝胶法中热处理对PMNT薄膜结构的影响
【摘 要】
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研究用溶胶－凝胶方法制备ＰＭＮＴ（铌镁酸铅）薄膜的工艺过程．通过ＸＲＤ和ＳＰＭ系统地分析了热处理条件（热解温度和退火条件）与ＰＭＮＴ薄膜的形态．结晶和取向的对应关系，已建立起制备高度取向 ＰＭＮＴ薄膜的工艺．并成功
【机 构】
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中国科学院上海硅酸盐研究所无机功能材料开放实验室,中国科学院上海硅酸盐研究所无机功能材料开放实验室,中国科学院上海硅酸盐研究所无机功能材料开放实验室,中国科学院上海硅酸盐研究所无机功能材料开放实验室
【出 处】
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无机材料学报
【发表日期】
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2002年02期
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