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采用溶胶-凝胶法制备了SiO2-Al2O3不同质量分数杂化聚酰亚胺薄膜.分别用傅立叶变换红外光谱、原子力显微镜及介电谱对薄膜的表面形貌、化学结构和介电性能进行了测试和表征.实验表明:SiO2-Al2O3无机组分的引入大大提高了薄膜的介电性能,而且SiO2-Al2O3无机组分的组成对薄膜的性能也有一定的影响.