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基本情况 1.研制单位近年来,半导体设备领域人气较旺,目前涉足半导体设备研究和制造的单位恢复到约40个,其中主要单位十几家。大部分单位从事前工序设备的研制,而后工序设备、材料制备设备、净化设备、试验设备、检测设备也各有一些单
发展中的中国半导体设备工业
【摘 要】
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基本情况 1.研制单位近年来,半导体设备领域人气较旺,目前涉足半导体设备研究和制造的单位恢复到约40个,其中主要单位十几家。大部分单位从事前工序设备的研制,而后工序设备
【机 构】
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信息产业部电子信息产品管理司
【出 处】
：
中国集成电路
【发表日期】
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2002年3期
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