【摘 要】
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通过原子层沉积（ALD）法制备晶体硅钝化发射极背面接触（PERC）太阳电池中的Al2O3钝化膜,研究ALD工艺三甲基铝（TMA）流量、H2O流量对Al2O3沉积速率的影响。采用不同厚度的Al2O3钝化膜制
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通过原子层沉积（ALD）法制备晶体硅钝化发射极背面接触（PERC）太阳电池中的Al2O3钝化膜,研究ALD工艺三甲基铝（TMA）流量、H2O流量对Al2O3沉积速率的影响。采用不同厚度的Al2O3钝化膜制备晶体硅PERC太阳电池,结果显示电池效率随Al2O3膜厚的增加呈先升后降趋势,Al2O3厚度为7 nm时电池效率最高,达到了19.15%。
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