【摘 要】
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以Al Mg和Al Mg Y合金为原料 ,通入高纯度的氮气 ,利用原位合成法制备了AlN粉体及含烧结助剂的复合AlN粉体。合金氮化产物的组织排列疏松 ,有利于粉化。粉化后的AlN粉体纯度
【机 构】
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中国科学院半导体研究所光电子研究与发展中心,北京工业大学材料科学与工程学院
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以Al Mg和Al Mg Y合金为原料 ,通入高纯度的氮气 ,利用原位合成法制备了AlN粉体及含烧结助剂的复合AlN粉体。合金氮化产物的组织排列疏松 ,有利于粉化。粉化后的AlN粉体纯度较高 ,含氧量为 1.2 3% ,平均粒径为 6 .78μm ,物相为单相AlN ;复合AlN粉体物相组成为AlN主相与稀土钇的氧化物烧结助剂Y2 O3 相。粒径分布曲线呈双峰现象 ,从提高粉体的充填系数角度考虑 ,具有这种粒径分布的粉体有利于烧结致密化
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