微波ECR大面积磁场的模拟与设计

来源 :电子器件 | 被引量 : 0次 | 上传用户：xuehaocad

【摘要】

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针对ECR大面积磁场的模拟和设计.在了解ECR磁场的构成的基础上,通过模型推理和实测修正得到小磁块的场强分布函数,进而得到叠加磁场的场强分布函数.然后通过编程,用软件实现

【作者】

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高旭东杨银堂

【机构】

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西安电子科技大学微电子研究所

【出处】

：

电子器件

【发表日期】

：

2004年1期

【关键词】

：

电子回旋共振磁偶极子电偶极子磁场强度 ECR magnetic monopole electric monopole magnetic field

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针对ECR大面积磁场的模拟和设计.在了解ECR磁场的构成的基础上,通过模型推理和实测修正得到小磁块的场强分布函数,进而得到叠加磁场的场强分布函数.然后通过编程,用软件实现对ECR大面积磁场的模拟,进一步优化了磁场的设计,证实该磁场可用于实现高质量ECR等离子体源.

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