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建立了电感耦合等离子原子发射光谱法测定ITi O(铟钛靶材)粉末中Fe、Ca、Mg和Sn等杂质元素的分析方法。对溶液酸度、基体干扰、共存元素干扰等进行了试验和讨论,优化了仪器工作参数,方法的精密度(RSD,n=9)为0.41%~2.51%;回收率为99%~103%。适用于ITiO(铟钛靶材)粉末中杂质元素铁、钙、镁和锡量的测定。