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本文利用喷雾热解法制备掺Al的ZnO透明导电膜,研究了不同衬底温度和Al3+的掺杂浓度,对其光学性能和电学性能的影响.得出在目前实验条件下,适宜掺Al的ZnO透明导电膜生长的温度和掺杂浓度.
衬底温度和Al3+掺杂浓度对ZnO透明导电膜性能的影响
【摘 要】
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本文利用喷雾热解法制备掺Al的ZnO透明导电膜,研究了不同衬底温度和Al3+的掺杂浓度,对其光学性能和电学性能的影响.得出在目前实验条件下,适宜掺Al的ZnO透明导电膜生长的温度
【机 构】
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郑州大学材料科学与工程学院
【出 处】
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科学时代（上半月）
【发表日期】
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2004年期
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