CVT法提纯钛的热力学分析

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对CVT法制备纯钛的反应热力学及反应体系中卤化物蒸汽压对钛沉积速率影响进行了分析,得出了最佳卤化反应源区和沉积区温度控制范围,实验得出了Ti最大沉积速率时的钛卤化物蒸汽压。
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