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氮化铝薄膜的低温沉积

来源 :半导体学报 | 被引量 : 0次 | 上传用户：tyftyf123

【作 者】

：

孙剑  吴嘉达  应质峰  施维  凌浩  周筑颖  丁训民 

【出 处】

：

半导体学报

【发表日期】

：

2000年09期

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