基于ZAMX仿真的显微物镜设计方法

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文章应用ZEMAX光学软件,设计符合目标要求的显微镜物镜光学系统。首要计算光学系统的初始结构参数,在此基础上进行数据微调;其次在该初始结构参数之下,进行像质分析,比如光线扇形图(Ray Fan)、点列图(Spot Diagram)、光学传递函数(MTF),分析出来的图形好坏决定了是否要继续对光路系统进行优化;再次就是光路仿真图的优化过程,在反复的优化过程中,判断该光路系统是否满足设计要求,能够消除球差、轴向色差以及正弧差。经过外形尺寸计算和ZEMAX仿真,达到了显微镜的设计参数要求并且像差合理。
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