【摘 要】
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采用真空蒸发的方法制备了掺杂原子比为3%、5%和9%的La掺杂和Dy掺杂的ZnO薄膜．用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD）谱和X射线光电子能谱（XPS）表征了所制得的ZnO薄膜的特性．发现所
【机 构】
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厦门大学物理与机电工程学院、福建省半导体材料与应用重点实验室
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采用真空蒸发的方法制备了掺杂原子比为3%、5%和9%的La掺杂和Dy掺杂的ZnO薄膜．用扫描电子显微镜（SEM）、X射线衍射（XRD）谱和X射线光电子能谱（XPS）表征了所制得的ZnO薄膜的特性．发现所有薄膜都沿C轴取向优先生长．在对ZnO薄膜气敏特性的测量中,在低温条件下掺杂ZnO薄膜的电阻比非掺杂ZnO薄膜的小,且对乙醇和丙酮的灵敏度显著增强,且其中Dy掺杂的ZnO薄膜的气敏特性较La掺杂的ZnO薄膜为高．而空气中暴露9个月后的薄膜的气敏特性表明掺杂ZnO薄膜具有很好的稳定性．同时讨论了气敏传感机制和
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