超微粒乳胶的感光特性及其应用

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本文对用于计量圆光栅的超微粒乳胶感光特性进行了讨论。其结果表明:要获得理想的高反差光栅盘或其它光学元件,必须合理地选择光刻时的曝光量、曝光时间、显影液及显影时间。本文对提高计量光栅的刻划精度及表面质量,有一定的实际意义。
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