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介绍RTD器件几种主要器件结构及每种器件结构的优、缺点和应用前景，并介绍了RTD通用制造工艺和工艺中的关键问题。
RTD的器件结构及制造工艺——共振隧穿器件讲座（6）
【摘 要】
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介绍RTD器件几种主要器件结构及每种器件结构的优、缺点和应用前景，并介绍了RTD通用制造工艺和工艺中的关键问题。
【机 构】
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天津工业大学信息与通讯工程学院,专用集成电路国家级重点实验室,天津300072
【出 处】
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微纳电子技术
【发表日期】
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2006年8期
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