【摘 要】
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采用反应磁控溅射制备不同氮气流量下的CrNX膜,观察薄膜颜色的变化,采用球盘式摩擦磨损仪、台阶仪、金相显微镜测试薄膜的耐磨性能,并采用X射线衍射技术、场发射扫描电镜观测
【机 构】
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中国科学院宁波材料技术与工程研究所
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采用反应磁控溅射制备不同氮气流量下的CrNX膜,观察薄膜颜色的变化,采用球盘式摩擦磨损仪、台阶仪、金相显微镜测试薄膜的耐磨性能,并采用X射线衍射技术、场发射扫描电镜观测薄膜的相成份以及微观形貌。研究结果表明,随着氮气含量的增加,薄膜颜色由银灰色逐渐过渡为深灰色,薄膜相结构由单相Cr2N转变为Cr2N和CrN混合相继而转变为单相CrN,当氮气流量为20cm3·min-1以及30cm3·min-1时薄膜表现出良好的耐磨性。采用高氮气流量的工艺镀中间层,低氮气流量的工艺镀表面层,复合薄膜的耐
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