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提出了在各膜层之间插入虚膜的计算方法，导出了相应的光学薄膜传输矩阵。该方法使得膜与膜之间解耦，并便于在计算机上存储和计算薄膜的反射率、透射率以及能流密度。对抗蚀剂曝光的计算结果表明这种技术是有效的。
光致抗蚀剂曝光的虚膜插入模拟技术
【摘 要】
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提出了在各膜层之间插入虚膜的计算方法，导出了相应的光学薄膜传输矩阵。该方法使得膜与膜之间解耦，并便于在计算机上存储和计算薄膜的反射率、透射率以及能流密度。对抗蚀剂曝
【机 构】
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清华大学电子工程系EDA实验室
【出 处】
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半导体学报
【发表日期】
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2002年8期
【基金项目】
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国家自然科学基金资助项目 (批准号 :6 0 0 2 5 10 1)~~
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