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半球谐振子是半球谐振陀螺的关键组成部件，而其性能参数是制造高精度半球谐振陀螺的关键，针对谐振子加工后表面的复杂结构、多种缺陷层和球壳质量不平衡，讨论化学处理工艺和离子束调平技术对谐振子主要性能参数品质因数和频差的优化。实验结果表明该工艺技术效果显著。
基于优化半球陀螺谐振子性能的工艺技术
【摘 要】
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半球谐振子是半球谐振陀螺的关键组成部件，而其性能参数是制造高精度半球谐振陀螺的关键，针对谐振子加工后表面的复杂结构、多种缺陷层和球壳质量不平衡，讨论化学处理工艺和离子
【机 构】
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中国电子科技集团公司第26研究所
【出 处】
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压电与声光
【发表日期】
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2014年2期
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