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本文介绍了一种亚微米门极孔径真空微电子器件工艺和初步实验测试结果。
亚微米门极孔直径真空微电子器件
【摘 要】
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本文介绍了一种亚微米门极孔径真空微电子器件工艺和初步实验测试结果。
【机 构】
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西北工业大学,西安电子科技大学,电子工业部第十三研究所
【出 处】
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电子器件
【发表日期】
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1994年3期
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