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从X射线衍射强度的指数方程出发,考虑到1%的允许误差,经数学处理建立了微量薄膜样品的质量与衍射强度间的线性方程y=a+bIn;a,b值用被测物相纯样的外标曲线确定,线性方程的相关系数r=0.995,从而建立了微量薄膜样品的物相定量分析直接对比法。同时,建立了微量样品和有限厚样品间临界值的实验方法及有限厚样品衍射强度的吸收校正方法。所建立的方法用于矿山呼吸性粉尘中a-SiO2的定量测定,检出下限达0