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高聚物-无机物纳米杂化材料的研究已成为当今高分子化学和物理、无机化学和材料化学等许多学科交叉的前沿领域[1].聚酰亚胺因其特有的优越性能而成为聚合物中的热选材料;感光聚酰亚胺除具备常规聚酰亚胺的优良性能,还由于可在材料上直接刻蚀图形,简化工艺步骤[2],作为通信产业中光波导、光联接等装置的材料而受到市场的关注.目前有很多关于无机材料TiO2和SiO2用于电光领域材料[3～5]及其与聚合物形成的杂化材料用于制作光波导、光联结等电光领域的文献[6,7]报道,但很少见到可直接刻蚀图形的无机/聚酰亚胺杂化材料[8