【摘 要】
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离子辐照能引起超导薄膜的成分、原子环境、电子组态以及相结构的变化,从而导致材料性能的改变,因此离子辐照效应为超导材料的耐辐照能力以及超导器件的研制提供了重要的依据
【机 构】
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武汉大学物理学系,河南大学物理学系
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离子辐照能引起超导薄膜的成分、原子环境、电子组态以及相结构的变化,从而导致材料性能的改变,因此离子辐照效应为超导材料的耐辐照能力以及超导器件的研制提供了重要的依据和手段,同时也为探索超导机理提供了重要的实验结果. 1 实验所采用的YBCO超导薄膜样品是在中空阴极环形磁控溅射仪中原位制备的,此装置避免了负离子对薄膜的再溅射,保证了薄膜的均匀性.所用衬底为（100）SrTiO<sub>3</sub>单晶,衬底温度为780℃,溅射气体为氩氧混合气体（Ar:O<sub>2<
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