金属／BAS微晶玻璃复合基板的制备与性能研究

来源 :电子元件与材料 | 被引量 : 0次 | 上传用户：zzyp

【摘要】

：

制备了与0Cr18Ni9不锈钢热膨胀相匹配的Ba-Al-Si系微晶玻璃,利用流延法将玻璃制成生瓷带.在不锈钢板表面生瓷带经温压烧结后形成金属/微晶玻璃复合基板.电气性能测试结果,介

【作者】

：

杨娟堵永国张传禹郑晓慧

【机构】

：

国防科技大学航天与材料工程学院材料工程系

【出处】

：

电子元件与材料

【发表日期】

：

2005年7期

【关键词】

：

复合材料复合基板微晶玻璃生瓷带 composite composite substrate glass-ceramic green tape

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制备了与0Cr18Ni9不锈钢热膨胀相匹配的Ba-Al-Si系微晶玻璃,利用流延法将玻璃制成生瓷带.在不锈钢板表面生瓷带经温压烧结后形成金属/微晶玻璃复合基板.电气性能测试结果,介质层厚度＞73.5 μm时,击穿电压＞1.28 kV,泄漏电流＜0.05 mA;微晶玻璃膨胀系数为10×10-6/℃.

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